一、 概述

氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气体，为了提高硅晶体的质量，如何选用较高纯度的氩气，是制作硅晶体的一个议题。通过对本装置的使用，氩气的纯度其中氧含量小于1ppm时，水分也小于1ppm时，制作出的单晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm，这样就提高了单晶的使用寿命并能达到要求，赢得客户的满意和市场的需求。

由于一般液氩汽化后未经过纯化处理，它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有时气体供应商提供的氩气超过了此范围，使用氩气的客户不知道其质量，所以往往给生产产品质量造成影响。有了氩气纯化装置后不论氩原料气的质量如何，只要经过纯化装置的处理后，进入拉晶炉的氩气，纯度始终是恒定的。

一般氧含量小于0.5ppm，水分小于1ppm，这样稳定的氩气对生产晶体的质量是有..的。

二、 关于氩气纯化的方法

..种

直接脱氧法。就是使用活性金属与氩气中的氧气进行反应，消化掉氩气中的氧气，从而达到脱氧的目的，经过分子筛吸收掉氩气中的水份，使氩气的含水量小于1ppm。

第二种

是采用吸气剂。在一定温度下，吸气剂可吸收氮、氢、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等气体经吸收处理后，氩气的纯度可达到6个九，这种保护气体更适用于制作高纯度的半导体的单晶硅。

利用吸气剂纯化后氩气的纯度：

O2≤0.2ppm

H2≤0.5ppm

N2≤1ppm

CO+CO2≤0.5ppm

CH4≤0.5ppm

水份≤1ppm

..种方法设备投资小，设备中脱氧剂的使用寿命一般大于四年。

第二种方法设备纯化纯度高但投资相对较大，吸气剂使用寿命为两年。

★ ：本公司也可根据客户要求，直接做高压的，这样就可省掉使用模压机增压工序。

还可根据客户要求，配备分析仪在线时时检测设备中气体纯度。

三、氩气用途

高纯氩气用于焊接、不锈钢制造、冶炼，还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气。

主要用途：欢迎新老用户选择我公司产品：氩气净化机，氩气净化器，高纯氩气净化，高纯氩气净化设备，高纯氩气纯化设备，高纯氩气纯化装置，YAC系列氩气净化设备，全自动氩气纯化设备，大型氩气净化设备，硅材料行业用氩气净化设备，硅材料用除氧、除水氩气纯化装置,气站专用氩气净化设备，气站专用氩气纯化器，气站用高纯氩设备,单晶硅行业用氩气除氧、干燥设备，多晶硅行业用氩气除氧、干燥设备,高纯氩气提纯设备，氩气提纯机,高纯氩气过滤器。

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气体回收系统是对生产中的废气，如氢气、氩气和氦气进行回收再利用，采用该系统是一项降低生产成本，节约能源 ，提高经济效益的有力措施，下面，迪凯机电小编带大家一起来了解气体回收系统中的氢气回收系统、 氩气回收系统及氦气回收系统。

氢气回收系统主要用于钨钼行业还原工序排出的废氢，收集废氢后进入预处理系统，经增压后由冷却器冷却，汽水他离器分离水份，然后进入纯化装置主体部分，对氢气进行精制处理，经处理后的氢气中含氧量≤5ppm，H2O≤10ppm，N2≤900ppm。氢气回收装置分为中压回收和常压回收，中压回收氢气的增压由压缩机进行，而常压回收则由罗茨风机来完成。

氩气回收系统是对区熔单晶硅炉排出的氩气进行回收处理，通过膜片压缩机稳压器进入氩气纯化装置主体部分进行纯化处理，使氩气纯度达到99.999%以上。

氦气回收系统一般按照用户要求，以非标准型号提供，其纯度为99.999%以上。

陕西迪凯机电科技有限公司是一家专注从事氩、氦气等惰性稀有气体回收系统的研发、生产、销售与服务的高新技术企业， 致力于成为一家值得信赖和尊敬的惰性